brooksinstrument高溫質(zhì)量流量控制計(jì)

brooksinstrument高溫質(zhì)量流量控制計(jì)5850EMH / 5851EMH的介紹
5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測(cè)量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許大的應(yīng)用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號(hào)。該信號(hào)用于指示、記錄和/或控制目的而無(wú)需自動(dòng)歸零電路。特點(diǎn)
高泄漏完整性（小

產(chǎn)品型號(hào)：5850EMH / 5851EMH
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2023-04-21
訪問(wèn) 量：850

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產(chǎn)品詳情

品牌	其他品牌	類型	其他
測(cè)量范圍	12m3/h

brooksinstrument高溫質(zhì)量流量控制計(jì)5850EMH / 5851EMH的介紹

5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測(cè)量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許最大的應(yīng)用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號(hào)。該信號(hào)用于指示、記錄和/或控制目的而無(wú)需自動(dòng)歸零電路。

特點(diǎn)

高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
高純度 VAR 316L 不銹鋼
無(wú)磨粒
氦泄漏檢查端口
常閉閥（可選常開閥）
電致動(dòng)閥復(fù)位
低命令流量斷流
TTL 兼容"關(guān)閥"功能

優(yōu)勢(shì)

穩(wěn)定、可靠的產(chǎn)品平臺(tái)
高流量，高達(dá) 100 lpm（N2 當(dāng)量）
全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應(yīng)用

光纖制造——MCVD，OVD，AVD
水汽流量控制

5850EMH	5851EMH
流量范圍-滿量程容量	3 sccm - 30 slm (N2 equivalent)	10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度	±1% FS	±1% FS
重復(fù)性	< ±0.25% of SP	< ±0.25% SP
響應(yīng)時(shí)間-常閉	3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)	3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
模擬通訊	0-5 Vdc	0-5 Vdc

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