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更新時間：2023-12-21 
瀏覽次數：425住友的臭氧發生器采用板放電方式，利用電能將部分原料氣體轉化為臭氧。
采用高純度陶瓷放電表面來產生清潔的臭氧氣體，最大限度地減少顆粒和金屬污染的產生。作為排放方式，我們實現了業界領的先的臭氧濃度400g/m 3 (N)。
此外，我們還使用我們獨的特的技術來處理無氮臭氧發生器，以防止金屬污染。
被眾多客戶在半導體、液晶等制造過程中的干法和濕法工藝中使用，并獲得了好評。
半導體
各種晶圓
FPD（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
引的領
其他電子器件材料的干法和濕法工藝
這是一個標準系列，最大濃度為400g/m 3 (N)。
| 規格 | |
|---|---|
| 臭氧流量 | 1L/min～24L/min [210g/m 3 (N)] |
| 臭氧供給壓力 | 最大0.2MPa |
| 冷卻水溫度 | 20℃±2℃ |
| 氮添加率 | 氧氣流量的0.1% |
| 外形尺寸 | 寬483毫米×深453毫米×高266毫米 |
| 重量 | 30～45公斤 |
| 電源 | AC200V 3相 |
| 特征 |
|---|
| 產生400g/m 3 (N)的高濃度臭氧 |
| 可安裝在19英寸機架上的單元類型 |
| 從小流量到大流量的豐富產品陣容 |
| 高可靠性放電電池，耐壓高，壽命長 |
| 快速上升和出色的濃度響應 |
| 通過連接臭氧濃度計（反饋控制）實現優異的濃度穩定性 |
| CE/NRTL認證，符合SEMI標準 |
| 燃氣管道可選用氟樹脂和SUS鋼。 |
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